半导体行业高纯气体ppb微量氧气分析仪应用美国SOUTHLAND SENSING-OMD-677-1

在半导体等电子工业中，如成电路芯片厂在加工和封装中高纯和超纯气体作为保护气和置换气。高纯气体作为半导体、电子产品加工过程的特种气体的质量保障，美国southland sensing公司的微量氧分析仪OMD-677-1测量半导体、电子保护气中的超低量氧气含量，厂家直接用于半导体气体中的微量氧含量检测。

一般来说在电子级气体中的微量水和微量氧含量等杂质的要求一般要小于5000-10000ppb,正因为对于气体如此高的纯度要求，为了保障气体的纯度，美国southland sensing公司的OMD-677-1痕量氧分析仪（超微量氧分析仪）得到了广泛的使用和认可。

OMD-677-1在线微量氧气分析仪应用：

空气液化和分离

石油化工、电子电力等行业中高纯氧的分析；

空分高纯氧监测；

冶炼行业；

医疗卫生行业；

微电子、半导体、航天及军工等领域；

制氢／制氮／C02设备，净化／干燥设备等 

OMD-677 -1在线微量氧气分析仪参数：

不锈钢外壳、防水、防尘、防酸按键

精 度：<±1%

分辨率：0.001ppm

量程范围：

0-1ppm，0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自动或者手动调节

应 用：对惰性气体，碳氢气体，He，H2，CO2中的氧含量进行PPM分析 ,是测量

H2 ，N2 ，Ar ，He ，乙炔， 乙烯，丁二烯，CO2 ，CnHm 及其它气体中氧含

量的理想仪器。

报 警：2路继电器报警输出 

标 定：使用浓度大约为80%量程经过认证的标准气体 

补 偿：压力和温度 

接 口：1/8"卡套接头 

控 制：量程选择开关，防水键，标定及系统功能 

显 示：大屏幕液晶背光显示；分辨率：0.01ppm；
流量：0.25-2.5 L/M,推荐流量:1 L/M 

线 性：>.995超过所有量程 

压 力：进样0-3Mpa；排空-大气压 

电 源：220VAC,50Hz 

响应时间：90%满量程为15秒 
灵 敏 度：<0.5%满量程 
传感器型号：

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm当CO2H2S>0.5%时，免维护

 (PO2-160): 百分比； (PO2-24)百分比当CO2H2S>0.5%时，免维护 

传感器寿命：24个月，25℃ 
输 出：4-20mA ,RS485RS232
温度范围：5-45℃；TO2系列传感器﹞；-20-45℃﹝PO2系列传感器﹞ 
质 保 期：12个月，包括分析仪和传感器 

系统配置：减压阀、水气分离器、过滤器、精密过滤器器、自动疏水器、快速吹扫旁路、稳压小流量计、安全阀等

美国SOUTHLAND SENSING在线ppm百分比氧气分析仪，每一款都可以多种量程可选0.01ppm-100%;微量氧气、百分比

氧气、氧气纯度分析----OMD-507、OMD-150OMD-150-NG本安防爆OMD-625本安防爆;OMD-425（0-

100%）;OMD-525;OMD-401D（0-00%）;OMD-501D；OMD-150-1(0-1PPM);OMD-675-1(0-1PPM);;OMD-675-

10;OMD-677-1(0-1PPM);;OMD-677-10输出方式可选：4-20mA,MODBUS RS485RS232ASCII等通信方式

便携氧气分析仪：OMD-480百分比；OMD-480P百分比带泵；OMD-580微量氧气；OMD-580P微量氧气带泵；OMD-640（0-1ppm）

硫化氢分析仪：H2S-725微量防爆；H2S-150-NG防爆；H2S-150;H2S-780量程0-10、50、100、200ppm;0-100、500、1000、2000ppm

燃料电池传感器：

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